摘要:工业半导体厂房对温度、湿度、空气洁净度提出了较高的要求,需要通过净化空调系统控制核心生产区域的环境参数。探讨了净化空调系统的设计方案,构建了节能评价指标体系,并分析了各个子系统的节能应用效果。结(试读)...